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卡尔蔡司请求带电粒子束设备的扰动补偿专利补偿带电粒子束设备的扰动

发布时间:2025-08-09 07:31:44
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发布者: 足球直播小久

  金融界2025年5月10日音讯,国家知识产权局信息数据显现,卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司请求一项名为“带电粒子束设备的扰动补偿”的专利,公开号CN119948594A,请求日期为2023年9月。

  专利摘要显现,带电粒子束设备(例如用于修正使命)会遭到扰动。例如,在履行用于修正光刻掩模上缺点的操作形式时,运用一或多个传感器的传感器输出来补偿所述扰动。