金融界2025年5月10日音讯,国家知识产权局信息数据显现,卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司;卡尔蔡司显微镜有限责任公司请求一项名为“带电粒子束设备的扰动补偿”的专利,公开号CN119948594A,请求日期为2023年9月。
专利摘要显现,带电粒子束设备(例如用于修正使命)会遭到扰动。例如,在履行用于修正光刻掩模上缺点的操作形式时,运用一或多个传感器的传感器输出来补偿所述扰动。
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